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MEMS(微納機(jī)電系統(tǒng))和風(fēng)淋室

    據(jù)了解,在位于蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道的蘇州奈米城內(nèi)，國(guó)內(nèi)首個(gè)市場(chǎng)化運(yùn)作、全開(kāi)放的 MEMS 中試平臺(tái)已漸露雛形，目前該中試平臺(tái)設(shè)備調(diào)試工作正在緊張有序進(jìn)行中，8月將試運(yùn)行，未來(lái)它將開(kāi)展微納機(jī)電共性技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)工藝的研發(fā)，提供中試加工、檢測(cè)分析、設(shè)備租賃和代工技術(shù)轉(zhuǎn)移等服務(wù)。那么MEMS(微納機(jī)電系統(tǒng))又和風(fēng)淋室有什么關(guān)系呢?

    Fenglins應(yīng)邀來(lái)到了近千平米的潔凈室,此房間便是微機(jī)電制造的“主戰(zhàn)場(chǎng)”，按照工藝流程分為“光刻區(qū)”、“蝕刻區(qū)”、“薄膜區(qū)”、“擴(kuò)散區(qū)”、“注入?yún)^(qū)”和“封裝測(cè)試區(qū)”。在MEMS中試平臺(tái)相關(guān)負(fù)責(zé)人的帶領(lǐng)下，穿梭在160多套頂尖的制造機(jī)臺(tái)間，“高大上”的氣息撲面而來(lái)。“微納機(jī)電制造與傳統(tǒng)的積體電路不同，除讓硅片長(zhǎng)膜，再蝕刻出擁有不同功能的相應(yīng)‘圖案’外，它更注重立體結(jié)構(gòu)的搭建。”

整個(gè)MEMS中試平臺(tái)的潔凈度等級(jí)分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴(yán)苛的是光刻區(qū)，按照標(biāo)準(zhǔn)，即使是肉眼看不見(jiàn)的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。MEMS中試平臺(tái)的專業(yè)還體現(xiàn)在對(duì)環(huán)境的苛刻要求，溫度要時(shí)刻保持23度，上下幅度不能超過(guò)1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過(guò)5%。進(jìn)入該平臺(tái)的“心臟”--超凈間之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備?？蓜e以為這樣就能輕松進(jìn)入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要通過(guò)風(fēng)淋室里的12個(gè)風(fēng)淋嘴進(jìn)行至少10秒鐘的吹風(fēng)清潔，以確保拂去塵土。

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